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ATOVAC真空計(jì)(增強(qiáng)對(duì)流計(jì))EG301

通常安裝在真空室內(nèi),它是一個(gè)讀取真空室內(nèi)實(shí)際壓力的儀表,需要+24 VDC(可能為15 VDC)電源。EG301增強(qiáng)型對(duì)流壓力計(jì)具有3~10 VDC信號(hào)輸出,用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。
  • 品牌:ATOVAC
  • 型號(hào):EG301
  • 閱讀次數(shù):618

產(chǎn)品介紹

通常安裝在真空室內(nèi),它是一個(gè)讀取真空室內(nèi)實(shí)際壓力的儀表,需要+24 VDC(可能為15 VDC)電源。EG301增強(qiáng)型對(duì)流壓力計(jì)具有3~10 VDC信號(hào)輸出,用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。

性能特點(diǎn)

  • 可以進(jìn)行大范圍的壓力測(cè)量(0 X 10-4至760Torr)。
  • 高精度和增加的占地面積效率。
  • 提供模擬輸出,以便直接連接到PLC和其他設(shè)備進(jìn)行顯示。
  • 由于采用了7段LED,因此可以遠(yuǎn)距離讀取。
  • PC可以使用RS-485進(jìn)行控制。
  • 提供兩個(gè)設(shè)置點(diǎn)用于外部設(shè)備和過(guò)程。
  • 它可以以低成本維修(更換傳感器導(dǎo)線)。
  • 可單獨(dú)使用,無(wú)需控制器。

技術(shù)參數(shù)

輸入功率:+24伏直流電(可能15伏直流電)

輸出功率:+3 VDC至10 VDC

工作溫度:0~50℃

壓力范圍:2.0 X 10-4~760Torr

顯示窗口:7段LED

顯示單元:托爾(Torr)

安裝位置:水平

細(xì)絲:鉑99.999%

法蘭:NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF,1/4 VCR內(nèi)螺紋,CF法蘭

界面:模擬輸出,RS-485,2個(gè)設(shè)定點(diǎn)


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