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ANNEALSYS快速熱化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MC-050

帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 MC-050成為一種獨(dú)特的機(jī)器,具有像集群工具一樣的多工藝能力,但在一個(gè)單一的工藝室內(nèi)。Annealsys MC-050系統(tǒng)是為滿足研發(fā)單位的要求而開發(fā)的2英寸DLI-...

產(chǎn)品介紹

帶燈加熱的直接液體噴射汽化器使 MC-050成為一種獨(dú)特的機(jī)器,具有像集群工具一樣的多工藝能力,但在一個(gè)單一的工藝室內(nèi)。

Annealsys MC-050系統(tǒng)是為滿足研發(fā)單位的要求而開發(fā)的2英寸DLI-CVD/DLI-ALD反應(yīng)器。

紅外燈爐與直接液體注入蒸發(fā)器相結(jié)合,在同一工藝室內(nèi)提供獨(dú)特的多工藝能力:CVD、ALD、MOCVD、RTP 和 RTCVD。

直接液體注入 (DLI) 蒸發(fā)器可控制前體流量,并允許使用低蒸氣壓和稀釋的化學(xué)前體。與旁通閥相關(guān)的前體蒸汽流的快速切換為納米層壓板的沉積提供了界面控制。

MC-050是使用廣泛的固體和液體有機(jī)金屬前體開發(fā)新材料和納米層壓材料的機(jī)器。

性能特點(diǎn)

MC-050 可以使用廣泛的有機(jī)金屬前體進(jìn)行化學(xué)氣相沉積和原子層沉積工藝,同時(shí)提供原位退火功能。

  • 氣體混合能力與質(zhì)量流量控制器
  • 6個(gè)汽化器
  • 手套箱裝載選項(xiàng)
  • 可選擇高真空能力

可選功能與配件

MC-050可配備6個(gè)直接液體注入蒸發(fā)器和兩個(gè)用于高蒸氣壓前體的起泡器。

  • 高溫計(jì)溫度控制
  • 粗真空泵、渦輪泵
  • 手套箱接口和手套箱
  • 遠(yuǎn)程等離子
  • 臭氧發(fā)生器

技術(shù)參數(shù)

  • 基板尺寸:直徑可達(dá)2英寸
  • 溫度范圍:室溫至 1100°C
  • 電壓:3x400V+N+Gr/3x220V+Gr
  • 功率:21千瓦
  • 水:2至4巴,壓降1巴,8升/分鐘
  • 壓縮空氣:6巴(閥門驅(qū)動)
  • 真空范圍:大氣壓至 10-3 Torr
  • 產(chǎn)地:法國

產(chǎn)品應(yīng)用

MC-050提供了廣泛的新材料開發(fā)能力,包括單金屬氧化物和多金屬氧化物以及過渡金屬●二硫化物 (TMD) 和其他二維材料。

  • 簡單和多金屬氧化物
  • 金屬、氮化物和合金
  • III-V,寬帶隙半導(dǎo)體
  • 二維材料:石墨烯、氮化硼、MoS2、WS2、MoSe2、WSe2 ...
  • ETC

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