BILZ電子氣動(dòng)位置控制EPPC

用于高度動(dòng)態(tài)和振動(dòng)敏感的機(jī)器和儀器的實(shí)時(shí)液位控制。

EPPC實(shí)時(shí)液位控制可實(shí)現(xiàn)+/-10µm的生產(chǎn)精度，并顯著減少偏轉(zhuǎn)和沉降時(shí)間，以響應(yīng)動(dòng)態(tài)負(fù)載變化基于智能瀏覽器的用戶界面，用于設(shè)置、診斷和監(jiān)控。

電子氣動(dòng)位置控制EPPC為高精度機(jī)器、高度動(dòng)態(tài)和振動(dòng)敏感的測(cè)量機(jī)器、顯微鏡以及測(cè)試和生產(chǎn)機(jī)器提供好的振動(dòng)隔離。

EPPC可以與三到六個(gè)BiAir薄膜空氣彈簧控制組組合，以控制多達(dá)六個(gè)自由度。Bilz為系統(tǒng)設(shè)計(jì)提供各種不同尺寸的空氣彈簧。

電子氣動(dòng)液位控制系統(tǒng)與BiAir薄膜空氣彈簧相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)位置精度，并減少動(dòng)態(tài)負(fù)載變化時(shí)的偏轉(zhuǎn)和沉降時(shí)間。

• 位置精度（+/-10µm）
• 可單獨(dú)調(diào)節(jié)的系統(tǒng)參數(shù)（如阻尼）
• 響應(yīng)荷載變化的短撓度和沉降時(shí)間
• 每個(gè)自由度一個(gè)高性能伺服閥和一個(gè)位移傳感器
• 采用CAN總線技術(shù)的優(yōu)化連接系統(tǒng)
• 基于瀏覽器的智能用戶界面，用于設(shè)置、診斷和監(jiān)控，通過以太網(wǎng)連接，可進(jìn)行遠(yuǎn)程維護(hù)
• 操作員狀態(tài)顯示（例如準(zhǔn)備就緒、工作位置、動(dòng)作完成、錯(cuò)誤）
• 用于外部控制和監(jiān)控的數(shù)字I/O接口
• 高分辨率信號(hào)處理和伺服閥技術(shù)帶來的無噪聲控制
• 堅(jiān)固可靠的空氣彈簧技術(shù)，可與Bilz BiAir®薄膜空氣彈簧結(jié)合使用
• 無干擾發(fā)熱、磁場(chǎng)波動(dòng)或電磁執(zhí)行器的高功耗

• 典型系統(tǒng)負(fù)載：800 kg–120.000 kg
• 垂直固有頻率：1,2–2,5 Hz
• 水平固有頻率：2,2–2,8 Hz
• 控制類型：伺服氣動(dòng)
• 適合潔凈室：是
• 通信接口：以太網(wǎng)、數(shù)字I/O
• 產(chǎn)地：德國(guó)

-傳感器分辨率：

• 位移測(cè)量系統(tǒng)：0.76µm
• 壓力傳感器：0.36毫巴
• 采樣率傳感器信號(hào)：1 kHz（過采樣后）

• 高精度機(jī)器
• 振動(dòng)敏感和高度動(dòng)態(tài)的測(cè)量機(jī)
• 顯微鏡
• 半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)試和生產(chǎn)機(jī)器