ICHOR隔膜閥CDV

常規(guī)隔膜閥（CDV）系列包括超高純版本，根據(jù)相關(guān)SEMI規(guī)范制造，具有更高的可靠性。

• 閥座設(shè)計和雙層隔膜可延長循環(huán)壽命并減少顆粒產(chǎn)生。
• 完全清掃潤濕路徑，以減少截留，促進吹掃，更大限度地提高Cv，同時更小化內(nèi)部體積。
• 氣動執(zhí)行器可在執(zhí)行時快速響應。
• 手動和混合執(zhí)行器指示可視的四分之一圈打開和關(guān)閉位置。
• 可根據(jù)要求提供自定義配置。

1、 閥體316L SST SEMI F20

2、 閥座PCTFE

3、 隔膜Elgiloy

4、 按鈕316L不銹鋼

5、 閥蓋303 SST

6、 螺母303 SST

7、 執(zhí)行機構(gòu)陽極氧化鋁

產(chǎn)地：美國

氣動工作壓力：真空至150 PSIG

¼手動工作壓力：真空至250 PSIG

混合工作壓力：真空至150 PSIG

防爆壓力：1.5 x工作壓力

爆裂壓力：4500 PSIG

表面粗糙度

標準：≤16 Ra µ inch

高純度：6-10 Ra µ inch

超高純度：≤5 Ra µ inch

流量系數(shù)：Cv=0.3

氣動執(zhí)行機構(gòu)驅(qū)動壓力：65-125 PSIG

卡套管集成接頭：1/8“-27 NPT 1/8”，M5氣動或1/8“

手動和混合執(zhí)行器：¼轉(zhuǎn)手動

內(nèi)側(cè)泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

外側(cè)泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

通過閥座的泄漏率：≤10-9 atm cc He/sec

溫度，閥座材料：

-40°F至150°F（-40°C至66°C），PCTFE

-40°F至300°F（40°C至150°C）、PEEK

-15°F至300°F（-10°C至150°C），PFA，VESPEL