ENTEGRIS氣體過濾器WGMXMBPRF2

Wafergard MAX 在線氣體過濾器是業(yè)內(nèi)用于超純氣體系統(tǒng)的過濾器。聚四氟乙烯（PTFE）濾芯與高純氣體以及普通氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容。我們的 MAX 系列過濾器有青銅級和白銀級兩種性能級別，專為大流量和低 delta 壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)，可去除可能影響工藝質(zhì)量的雜質(zhì)，為工藝提供良好的保護(hù)。Wafergard MAX 過濾器適用于設(shè)施連接、閥組箱和使用點(diǎn)氣體面板應(yīng)用。

低壓降過濾器設(shè)計(jì)，節(jié)省時間和成本

從輸入氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒，Max限度地減少工藝缺陷

聚四氟乙烯（PTFE）濾芯，與氮?dú)夂?CDA 等高純度氣體具有良好的兼容性

體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省寶貴的設(shè)備空間，更易于實(shí)施

預(yù)處理（僅銀），可快速啟動

WGMXMBPRF2：1/4 英寸外螺紋 VCR 兼容入口，1/4 英寸內(nèi)螺紋 VCR 兼容出口；141.2 毫米（5.6 英寸）

WGMXMBRR2：1/4 英寸外螺紋 VCR 兼容型；127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMBRR4：兼容 VCR 1/2 "外螺紋；127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMBSS2：兼容 1/4" Swagelok ；112.7 mm (4.44")

WGMXMBSS3：兼容 3/8" Swagelok ；117.9 mm (4.64)

WGMXMBSS4：1/2" Swagelok兼容；118.7 mm (4.67")

WGMXMPRR2：兼容 1/4 "外螺紋 VCR；127 mm（5.00"）

WGMXMPRR4：兼容 1/2 英寸外螺紋 VCR；127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMPSS2：兼容 1/4" Swagelok；112.7 mm (4.44")

WGMXMPSS3：兼容 3/8" Swagelok；117.9 mm（4.64）

WGMXMPSS4：兼容Swagelok；118.7 mm (4.67")

WGMXMSBW2：1/4" 對焊管；133.4 mm (5.25")

WGMXMSBW3：3/8 英寸對焊管；133.4 毫米（5.25 英寸）

WGMXMSBW4：1/2 英寸對焊管；133.4 毫米（5.257 英寸）

WGMXMSRR2：1/4" 外螺紋 VCR 兼容型；127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMSRR4：兼容 1/2 "外螺紋 VCR；127 毫米（5.00 英寸）

產(chǎn)地：美國

濾芯材質(zhì)：由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜

外殼材質(zhì)：電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼

下游清潔度

顆粒：小于 0.03 顆粒/L（<1 顆粒/ft³），大于 0.01 µm

揮發(fā)物（銀）：< 10 ppb H₂O 和 O₂。低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）

去除率：≥ 0.0015 µm

內(nèi)部表面處理青銅：≤ 20 µin Ra

氦氣泄漏等級

合格：2 x 10^-10 atm-cc/sec

測試：1 x 10^-9 atm-cc/sec

Max入口壓力： 1⁄4 " 和 1⁄2 " VCR

銀質(zhì)和銅質(zhì) Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)

青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa（60 bar，870 psig）

青銅和青銅 Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok兼容接頭： 6.0 MPa（60 bar，870 psig）

Max正向壓差：7 bar (102 psid)

Max反向壓差：2.5 bar (36 psid)

Max工作溫度：120 °C (248 °F)

保修期：銅質(zhì) 1 年；銀質(zhì) 3 年

微粒去除率： 所有微粒去除率大于 99.9999999 %（9 LRV）（以穿透力_Max的微粒尺寸為準(zhǔn)）

與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體兼容、與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容