當(dāng)前所在位置: 首頁(yè) > 產(chǎn)品首頁(yè) >工業(yè)機(jī)器、成套設(shè)備 >表面處理 >其他噴涂工具 >ENTEGRIS噴點(diǎn)系統(tǒng)IGHMV20PHKP3
IntelliGen HMV20 噴點(diǎn)系統(tǒng)以兩級(jí)噴點(diǎn)技術(shù)的成熟性能為基礎(chǔ),結(jié)合我們創(chuàng)新的 Connectology 過(guò)濾器設(shè)計(jì),將高純度過(guò)濾與中高粘度液體(300 至 1,000 cP)的可重復(fù)噴點(diǎn)集成在一起。我們的 Optimizer ST(OF 型)過(guò)濾器可輕松滑入系統(tǒng)隔室,使流體以設(shè)定截留率的流速通過(guò)過(guò)濾器,從而提高產(chǎn)量并延長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間。
集成的雙壓力傳感器簡(jiǎn)化了配方編程和過(guò)濾器填料,在直觀的編程界面中提供用戶友好的分配診斷和實(shí)時(shí)警報(bào)。該點(diǎn)膠系統(tǒng)包括多項(xiàng)診斷功能(點(diǎn)膠、周期時(shí)間和 ΔP 確認(rèn)),可在發(fā)生部分點(diǎn)膠或點(diǎn)膠失敗時(shí)發(fā)出通知,有助于很大限度地減少因涂層問(wèn)題造成的代價(jià)高昂的晶片缺陷。 我們的 IntelliGen HMV20 點(diǎn)膠系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊、性能高、具有交互式診斷功能,是確保點(diǎn)膠重復(fù)性、延長(zhǎng)過(guò)濾器使用壽命和提高回報(bào)的明智之選。
與 Connectology 過(guò)濾器設(shè)計(jì)相結(jié)合,兩級(jí)分配技術(shù)將高純度過(guò)濾與可重復(fù)分配融為一體,可靠分配中高粘度流體(300-1,000 cP),而不會(huì)犧牲過(guò)濾性能
實(shí)時(shí)交互式確認(rèn)工具簡(jiǎn)化了系統(tǒng)配方和過(guò)濾器填料編程,并允許訪問(wèn) SPC 數(shù)據(jù),以更好地參與工藝過(guò)程
直觀的編程界面提供用戶友好的確認(rèn)工具,并提供實(shí)時(shí)警報(bào),有助于大限度地減少代價(jià)高昂的晶片缺陷
產(chǎn)地:美國(guó)
與介質(zhì)接觸的表面:PTFE、改性 PTFE、Kalrez 材料
體積:0.1-20.0 mL,增量為 0.001 mL
分配速度:0.1-3.0 mL/s,增量為 0.01 mL/s
重復(fù)性:< 0.03 mL 3 sigma
粘度范圍:00-1,000 cP
Max分配設(shè)計(jì)壓力:1 兆帕(150 psi)
填充、過(guò)濾、排氣和吹掃速率:0.1 至 3.0 mL/s,增量為 0.01 mL/s
排氣頻率:自動(dòng)排氣或 1-10,000 次分配循環(huán)
機(jī)械連接類型:可互換的 Super 300 型 Pillar、Super 型 Pillar 接頭
排氣管外徑:6.35 mm(0.25 英寸),9.53 mm(0.375 英寸);內(nèi)徑:3.97 mm(0.156 英寸),6.35 mm(0.025 英寸)
入口和出口管道外徑:9.53 mm(0.375 英寸);內(nèi)徑:6.35 mm(0.25 英寸)
過(guò)濾器:Optimizer ST 過(guò)濾器 (OF)
入口氣體類型:調(diào)節(jié) N2 或 CDA
真空:- 68 kPa (20 " Hg)
額定電流:1.25 A
輸入電壓(系統(tǒng)):24 VDC
串行通信:取決于接口模塊
并行通信:觸發(fā)和確認(rèn)
尺寸(高×寬×深):303.8 × 104.9 × 245.4 mm(11.96 × 4.13 × 9.66 英寸)
重量:約 9.6 千克(21.2 磅)
符合認(rèn)證:CE
環(huán)境:限室內(nèi)使用
海拔高度:< 2,000 米
環(huán)境溫度:5 至 40 °C (41 至 104 °F)
中高粘度(300 - 1,000 cP)POU 光化學(xué)分配裝置
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