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ENTEGRIS流量控制器6500

無論是自動(dòng)化、過程控制還是保障問題,都需要對(duì)液體化學(xué)品和 CMP 泥漿進(jìn)行準(zhǔn)確的流量控制,因此儀表須清潔、準(zhǔn)確和可靠。Entegris 采用新型的電子技術(shù)和高純度材料,設(shè)計(jì)出的液體流量控制器,可更好地...

產(chǎn)品介紹

無論是自動(dòng)化、過程控制還是保障問題,都需要對(duì)液體化學(xué)品和 CMP 泥漿進(jìn)行準(zhǔn)確的流量控制,因此儀表須清潔、準(zhǔn)確和可靠。Entegris 采用新型的電子技術(shù)和高純度材料,設(shè)計(jì)出的液體流量控制器,可更好地控制工藝流量變量。NT集成流量控制器 (IFC) 6500 型專為高純液體化學(xué)儀器和漿料應(yīng)用而開發(fā)。該儀器的閥座和隔膜設(shè)計(jì)用于大限度地減少死體積和流體剪切力,從而降低工藝污染的可能性。IFC 6500 型的潤濕部件采用含氟聚合物,非潤濕部件采用惰性材料,可抵御惡劣的化學(xué)環(huán)境和外部噴淋。NT IFC 6500 型采用雙聚四氟乙烯閥門隔膜,用于流體密封和污染保護(hù)。采用的電動(dòng)閥和流量計(jì)技術(shù),封裝的內(nèi)部電子元件可控制流量控制器的所有方面。該裝置由設(shè)定點(diǎn)信號(hào)(即 4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC)激活,以將流體流量保持在所需的設(shè)定點(diǎn)。

性能特點(diǎn)

用于高純度應(yīng)用的 PTFE 潤濕表面

非金屬組件具有耐腐蝕性

內(nèi)置壓力傳感器提供額外的過程信息

在關(guān)鍵分配應(yīng)用中可獲得百分之一 (1%) 的滿量程精度

占地面積小,便于在空間有限的地方進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)安裝

快速響應(yīng),實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的分配率

選型指南

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

潤濕部件閥體材質(zhì):PTFE

潤濕部件膜片材質(zhì):PTFE

傳感器接口材質(zhì):PFA 或 CTFE

主 O 形圈材質(zhì):Perfrez

非潤濕部件:聚丙烯、FEP、PVDF 和氟橡膠(除上述材料外)

工藝溫度:10 至 65 ℃(50 至 149 °F)

電氣輸入:24VDC(± 10 %)@ 1 A

電氣輸出:兩個(gè) 4-20 mA 電氣隔離輸出,一個(gè)用于流量,一個(gè)用于壓力

流量測(cè)量:

在 20-滿流量范圍內(nèi)為滿量程的 ± 1 %

流量范圍的 10-20% 時(shí)為滿量程的 ± 2.5 %

(使用去離子水在 23 °C [73 °F] 下進(jìn)行校準(zhǔn))

重復(fù)性:流量范圍 20-滿 時(shí),滿量程的 ± 0.5 %;流量范圍 10-20 % 時(shí),滿量程的 1 %。

壓力測(cè)量范圍:0 至 414 kPa (0- 60 psig)

Min工作壓力(入口處):69 kPa (10 psig)

Max工作壓力:414 kPa (60 psig)

過壓限制:690 kPa (100 psig)

壓力測(cè)量精度:滿刻度的 1 %(包括線性、滯后和重復(fù)性的綜合影響)

電氣外殼:IP54

可靠性:浸濕部件,>300 萬次循環(huán)

響應(yīng)時(shí)間:< 3 秒(10 % 至 95 % 滿量程流量范圍)

設(shè)定點(diǎn)輸入信號(hào):4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

符合認(rèn)證:CE

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

用于關(guān)鍵分配應(yīng)用的持續(xù)流量控制、CMP 泥漿分配,取代現(xiàn)有蠕動(dòng)泵、用于化學(xué)品添加和混合的批量控制、按需化學(xué)混合應(yīng)用

 


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