ENTEGRIS存儲箱E99-113N-69F02

Entegris 在滿足當(dāng)今 200 mm 晶圓廠的自動化、污染控制和生產(chǎn)率要求方面處于一定的地位。我們的 200 mm 晶圓存儲盒提供良好的保護(hù)，并提供自動和手動處理功能。周到的污染控制設(shè)計可很大限度地減少微粒的產(chǎn)生。我們的產(chǎn)品組合包括 HA200 系列、E99 系列和 E210 系列晶圓盒，并提供多種選件以滿足您的特定應(yīng)用需求。

設(shè)計用于很大限度地減少晶圓顫動和載體移動所產(chǎn)生的微粒，并增加 ESD 保護(hù)功能

與自動化兼容

晶片傾斜可很大限度地減少晶片震顫

單載體容量，可輕松堆疊

平底

可容納選定的 25 個容量的晶片載體，不包括寬法蘭載體

STAT-PRO 175 材料，可選聚碳酸酯蓋板

遷移路徑與 STAT-PRO 100 材料兼容

HA200 系列存儲盒：性能高的 200 毫米存儲盒，可提供自動和手動處理功能。其設(shè)計特點(diǎn)可很大限度地減少晶圓顫動和載體移動所產(chǎn)生的微粒。

E99 系列存儲盒：行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可為空間有限的堆垛機(jī)和在制品機(jī)架提供很大的堆垛密度。

E210 系列存儲盒：可與寬法蘭載體實(shí)現(xiàn)自動化兼容，并方便人工搬運(yùn)。它們的特點(diǎn)是很大限度地減少晶圓顫動和載體移動產(chǎn)生的微粒。

彩色箱蓋：提供藍(lán)色、綠色和灰色 STAT-PRO 175 和 EMSTAT AR 材料箱蓋；提供紅色、藍(lán)色、綠色和紫外線過濾琥珀色聚碳酸酯箱蓋。

識別選項：激光標(biāo)記；卡座： E005-1-XXXX；燙?。徊噬?ID 標(biāo)簽；條形碼標(biāo)簽

靈活的Traveler信封：可容納 127 × 216 mm (5.0 × 8.5") 厚度不超過 3.2 mm (0.13") 的Traveler；與選定的 200 mm 存儲盒兼容；PVC 材料；部件編號： E96-1-1613（適用于 E99） TR33-0100-P（適用于 HA200）

產(chǎn)地：美國

兼容運(yùn)輸工具：192/198 系列、20X 系列和部分 200 系列運(yùn)輸工具

與Travelers兼容：否

蓋子材料：STAT-PRO 175

底部材料：STAT-PRO 175

鎖扣材料：PBT

鎖銷樣式：擺動銷

底部材料顏色：黑色

蓋子材料顏色：黑色

鉸鏈：標(biāo)準(zhǔn)

外形尺寸：285 × 272 × 241 毫米（11.2 × 10.7 × 9.5 英寸）

廠內(nèi)運(yùn)輸、工藝工具接口、工廠晶圓存儲