ENTEGRIS吊艙9700-9753-03

經(jīng)過驗(yàn)證的 150 mm 網(wǎng)罩保護(hù)裝置，免受靜電積聚和紫外線的影響。200 mm網(wǎng)罩 SMIF pod (RSP) 為掩膜車間和網(wǎng)罩用戶提供了一個標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口 (SMIF)，用于保障處理、存儲和運(yùn)輸帶或不帶小球的 150 mm網(wǎng)罩。該吊艙基于 SEMI 臨時標(biāo)準(zhǔn)，具有 200 mm SMIF 接口。RSP 可保護(hù)掩膜和網(wǎng)罩免受靜電積聚，紫外線阻擋材料可保護(hù)光刻中使用的感光材料。門吹掃接口使用惰性氣體，可很大限度地減少污染。此外，RSP 還具有信息墊，可減少錯位的機(jī)會，保護(hù)用戶避免在不正確的工藝設(shè)備上進(jìn)行不恰當(dāng)?shù)姆胖?。還提供可選的堆疊功能。

使用惰性氣體的門吹掃接口可很大限度地減少污染

紫外線阻隔材料可保護(hù)光刻技術(shù)中使用的光敏材料

無金屬結(jié)構(gòu)可消除腐蝕

改進(jìn)的密封傳導(dǎo)性可保護(hù)光學(xué)視網(wǎng)膜免受外部環(huán)境的影響，降低污染風(fēng)險

信息墊減少了錯位的機(jī)會

RSP200-5500：RSP200 墊圈套件，20 件

RSP200-5003：E200 門，帶 PBT 墊圈，10 件

產(chǎn)地：美國

容量：一個 150 mm視網(wǎng)膜

紫外線透過率（所有顏色）：~0 % @ ≤ 470 nm

靜電放電性能：< 2 秒

重量：1.38 kg

可靠性：> 50K MCBF

可清洗性：無需拆卸

門平整度：0.5 mm

圓頂類型：琥珀色 ABS

條形碼：是

RFID：否

門類型：A200

隔板：有

光罩生產(chǎn)、光罩處理和存儲、光刻工藝