ENTEGRIS密封氣體過濾器SF Mini Plus

SurfaceLine 過濾器提供業(yè)內(nèi)較小的表面貼裝設計。Wafergard SL 1.125" W-seal氣體過濾器采用表面貼裝設計，是業(yè)內(nèi)適配過濾器。表面貼裝式氣體過濾器的設計目的是減少氣體面板上用于標準在線設計的空間，同時減少投資并增加變化。有 SF Mini、SF Mini Plus 和 SF Mini XL 三種型號。SF Mini Plus 過濾器設計緊湊，節(jié)省空間，具有與 SF Mini XL 過濾器相同的高流速特性，是工藝氣體和清洗氣體的好選擇。

SurfaceLine 集成式氣體過濾器可節(jié)省氣體面板的空間

全 316L 不銹鋼結構與大多數(shù)半導體工藝氣體（與 O₃ 不兼容）具有良好的化學兼容性

特殊的清潔技術和高溫烘烤實現(xiàn)了高初始清潔度，并能快速啟動氣體輸送

高流速和低壓降特性適用于低蒸汽壓氣體

顆粒去除效率高，有助于提高產(chǎn)量

SF Mini Plus 過濾器設計緊湊，節(jié)省空間，具有與 SF Mini XL 相同的高流速特性，因此適合用于工藝氣體和清洗氣體

結構緊湊、節(jié)省空間、流量大

訂購編號WGSLSFW1H：SF Mini XL

訂購編號WGSLSFW1M：SF Mini

訂購編號WGSLSHW1MP-T：SF Mini Plus

產(chǎn)地：美國

膜材質：316L 不銹鋼

外殼、端蓋材質：低硫 316L 不銹鋼

內(nèi)表面光潔度：≤ 7 µin Ra (Ra ≤ 0.17µm)

顆粒保留率：大于 99.9999 % ≥ 0.0015 µm（SF Mini @ 30 slm、SF Mini Plus @ 50 slm、SF Mini XL @ 60 slm）

初始下游清潔度：≤ 0.03 顆粒/升，≥ 0.01 μm

連接：1.125 英寸 W 形密封表面安裝

設計壓力：0.99 MPa @ 20 °C (68 °F)

Max壓差：0.99 MPa @ 20 °C (68 °F)

Max設計溫度：120 °C (258 °F) - 惰性氣體

氦氣泄漏等級

合格：2 x 10^-11 Pa·m³/sec

已測試：1 x 10^-10 Pa·m³/sec

超純氣體管路、高溫應用、動態(tài)壓力應用、氣體面板