ENTEGRIS氣體過濾器WG3NS7RR4

Wafergard III NF-750 鎳過濾器是清潔、有效的全金屬過濾器。鎳濾膜具有高耐腐蝕性，與惰性氣體和活性氣體的兼容性高。創(chuàng)新的外殼設(shè)計消除了放氣現(xiàn)象，縮短了干燥時間。Wafergard III NF-750 氣體過濾器具有 Entegris 金屬膜的強度和 PTFE 含氟聚合物過濾器的壓降和緊湊尺寸。

清潔、有效的全金屬過濾器

獲得許可的鎳濾膜

高耐腐蝕性

高溫和動態(tài)壓力應用的適配選擇

通常用于流量高達 750 slpm 的場合

WG3NS7RR2：127 mm (5.00")；1⁄4" 密封墊片（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口

WG3NS7RR4：127 mm (5.00")；1⁄2" 密封墊片（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口

產(chǎn)地：美國

濾芯：燒結(jié)鎳膜過濾器

外殼材質(zhì)：電拋光 VAR 316L 不銹鋼

顆粒下游清潔度：< 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/立方英尺）> 0.01 µm @ 300 slpm

揮發(fā)性物質(zhì)下游清潔度：H₂O、O₂ 和 THC 的揮發(fā)性放氣低于檢測限（室溫下通過 RGA 和 FID 檢測）

去除率：≥ 0.0015 μm

內(nèi)部表面光潔度：≤ 5 µin Ra

總流通面積：140.0 cm² 

氦氣泄漏等級合格：2 x 10^-10 atm-cc/sec

氦氣泄漏等級測試：1 x 10^-9 atm-cc/sec

Max入口壓力：52 bar (750 psig) @ 100 °C (212 °F)

Max正向/反向壓差：7 bar (100 psid)

惰性氣體工作溫度：400 °C (752 °F) @ 27.5 bar (400 psig)

腐蝕性和活性氣體工作溫度：50 °C (122 °F) @ 52 bar (750 psig)

保修期：5 年

顆粒保留率：（以穿透力Max的顆粒尺寸為準）

在 300 slpm 時，對所有顆粒的去除率大于 99.9999999 %（9 LRV）；

在 750 slpm 時，對所有顆粒的去除率大于 99.9999 %（6 LRV）

超純氣體管路、高溫應用、閥-歧管盒、新建工廠、升級現(xiàn)有的含氟聚合物過濾器、旋轉(zhuǎn)沖洗干燥器、惰性氣體和活性氣體、散裝氣體、氣相氣體