ENTEGRIS氣體擴散器FV50D XL

快速減少裝載鎖和傳送室中的顆粒和排氣時間。FV50D XL 擴散器可大限度地縮短加載鎖定排氣周期時間，從而可靠地提高系統(tǒng)吞吐量。這種二代擴散器可以承受更高的工作壓力（60 psig），額定循環(huán)次數(shù)為 100 萬次，從而大大提高了性能，降低了擁有成本。

我們的 Chambergard 系列產(chǎn)品可快速向大氣排氣，而不會干擾或增加腔室內(nèi)晶片的顆粒。它們將擴散器的流動特性與過濾器相結(jié)合，提高了效率和產(chǎn)量。憑借我們的全球基礎(chǔ)設(shè)施，我們可以在全球范圍內(nèi)提供 Chambergard 快速排氣擴散器，以滿足您的需求。

額定循環(huán)次數(shù)為 1,000,000 次，可在更高的入口壓力下運行

在緊湊型擴散器中采用燒結(jié)鎳專利技術(shù)，可在所有應(yīng)用中提供高性能

從輸入氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒，大限度地減少晶片缺陷

易于安裝/改裝到現(xiàn)有工具中，大限度地減少停機時間

訂購編號CG2 NDD 050R2：Chambergard FV50D XL

產(chǎn)地：美國

擴散元件：燒結(jié)鎳膜過濾器

外殼材質(zhì)：316 L 不銹鋼

內(nèi)表面光潔度：≤ 32 μin Ra

O 形圈材料：氟橡膠

尺寸：2-229

溝槽內(nèi)徑：59.9 mm（2.36 英寸)

溝槽外徑：67.9 mm（2.67 英寸）

溝槽深度：2.6 mm（0.10 英寸）

入口連接方式：1⁄4 英寸 VCR 兼容外螺紋墊圈密封接頭

出口連接方式：ISO NW50 隔板安裝，兼容標準 ISO 隔板夾

下游清潔度：清潔度小于 0.03 顆粒/L（<1 顆粒/ft³） > 0.01 μm 額定流量

去除率：≥ 0.0015 μm

出口為真空時的Max入口壓力：4 巴（60 psig）

Max壓差：5 巴（75 psid）

Max工作溫度：100 °C (212 °F) （帶 O 形圈）；400°C (752°F) （不帶 O 形圈

保修期：2 年

將氣體快速排放到大氣中，不會干擾腔室內(nèi)的晶片或增加晶片顆粒