ENTEGRIS壓力傳感器4210100GF2B12BP1U3

無(wú)論是自動(dòng)化、過(guò)程控制還是保障問(wèn)題都需要壓力測(cè)量，儀器須清潔、準(zhǔn)確、可靠。為滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求，Entegris 將電子傳感技術(shù)與高純度材料相結(jié)合，創(chuàng)造出可更好地控制過(guò)程變量的產(chǎn)品。NT 壓力傳感器不含任何可能污染工藝的活動(dòng)部件或填充液。非金屬傳感器的潤(rùn)濕部件由 PTFE 和其他高純度含氟聚合物組成。標(biāo)準(zhǔn)電氣連接采用 FEP 護(hù)套尾纖，因此傳感器可抵御惡劣的化學(xué)環(huán)境和外部噴淋。這些傳感器采用非金屬壓力傳感技術(shù)，測(cè)量準(zhǔn)確可靠。所有產(chǎn)品均在出廠前進(jìn)行校準(zhǔn)和檢驗(yàn)，無(wú)需進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)或調(diào)整，從而降低安裝速度。標(biāo)準(zhǔn)電子輸出可與 PLC、控制系統(tǒng)和電子顯示器輕松集成。

在高純度應(yīng)用、腐蝕性化學(xué)品和 CMP 泥漿中提供可靠的壓力測(cè)量

出廠前經(jīng)過(guò)完整的功能測(cè)試，精度為滿量程的 1 %

無(wú)活動(dòng)部件或填充流體，降低污染可能性

流通設(shè)計(jì)很大限度地減少了死體積，降低了污染可能性

適用于高純度應(yīng)用的 PTFE、PFA、CTFE 和 Perfrez 潤(rùn)濕表面

符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 PrimeLock 和 Flaretek 擴(kuò)口連接可減少夾帶區(qū)域、Min占地面積、提供系統(tǒng)設(shè)計(jì)靈活性并簡(jiǎn)化安裝

產(chǎn)地：美國(guó)

主體材質(zhì)：PTFE

傳感器接口材質(zhì)：PFA 或 CTFE

主密封材質(zhì)：Perfrez

非潤(rùn)濕部件材質(zhì)：聚丙烯、聚乙烯、氟橡膠、PVDF（除上述材料外）

壓力范圍：0 至 207 kPa (0 至 30 psig)；0 至 414 kPa (0 至 60 psig)；0 至 690 kPa (0 至 100 psig)

過(guò)壓限制：滿量程范圍或接頭Max額定壓力的 150 %

工藝溫度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)；65 至 95 °C (149 至 203 °F)

工藝連接選項(xiàng)

Flaretek 卡套管接頭：1⁄4 ", 3⁄8 ", 1⁄2 ", 3⁄4 ", 1 "

PrimeLock 管接頭：1⁄2 "、3⁄4 "、1 "

超 300 型支柱管接頭：1⁄4 "、3⁄8 "、1⁄2 "、3⁄4 "、1 "

電氣輸入：24 VDC (12 至 30 VDC 輸入電壓)

電氣輸出：4 至 20 mA, 0 至 5 VDC, 0 至 10 VDC

參考精度：±1 % 滿量程（包括線性、滯后和重復(fù)性的綜合影響）

電氣外殼：IP 54

符合認(rèn)證：CE

化學(xué)品和去離子水分配、過(guò)濾器壽命監(jiān)測(cè)、再循環(huán)回路中的背壓、使用點(diǎn)分配、工具優(yōu)先級(jí)