ENTEGRIS液體過濾器AE20T0M100M01FT

高純度、稀酸和稀堿缺陷減少解決方案，可提高晶片產(chǎn)量性能。Astera 液體過濾器可為大流量和使用點 (POU) 酸性和堿性水基工藝化學品提供同類更好的過濾效果。10 nm 等級類型可提供更高的顆粒截留能力，其流速具有更開放膜的特點。這種過濾器的高流速與去離子水預濕包裝相結(jié)合，可在較短的停機時間內(nèi)實現(xiàn)快速沖洗。

Astera 過濾器采用原生聚芳砜（PAS）膜技術，用于篩分和非篩分污染物捕獲，減少晶片缺陷，提供清潔的化學品輸送。PAS 仍是稀釋水性化學物質(zhì)的材料，而 Astera 過濾器的 10 nm 原生膜則在此基礎上提供了更優(yōu)良的全 pH 選項

PAS 膜可確保化學純度，提供更低的基準 WPA

去離子水預濕包裝可實現(xiàn)快速沖洗，從而減少停機時間，更快地投入生產(chǎn)

高流量、10 nm 膜可實現(xiàn)快速沖洗和設備化學品吞吐量，從而減少停機時間，更快投入生產(chǎn)

未經(jīng)改性的原生膜可在所有 pH 值條件下提供先進的顆粒截留能力，從而減少了用于多種稀釋應用的單一產(chǎn)品的庫存量

產(chǎn)地：美國

膜材質(zhì)：聚芳砜 (PAS)

支座、套管、核心、端蓋材質(zhì)：高密度聚乙烯 (HDPE)、聚丙烯 (PP)

Code 0 雙 2-222 O 形圈：包封氟聚合物 (E-FKM) 或 Kalrez® 6375

Chem-Line II 一次性外殼：PP

截留等級：10 nm

10"膜表面積：1.4 平方米（15.07 平方英尺）

20"膜表面積：2.8 平方米（30.14 平方英尺）

Max正向壓差：0.21 兆帕（2.1 巴，30 psid），溫度為 25 °C (77 °F)

Max反向壓差：0.21 兆帕（2.1 巴，30 psid），溫度為 25 °C (77 °F)

Max工作壓力：0.14 兆帕（1.4 巴，20 psid），溫度為 25 °C (77 °F)

Max工作溫度：70 °C (158 °F) @ 10 psi

酸性工藝化學品，如 BOE 和 DHF、基本工藝化學品，如 NH₄OH 和 TMAH、去離子水

散裝和定點使用、低溫工藝（< 70 °C [158  °F])