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FORMFACTOR手動探針系統(tǒng)PM8

產品介紹

FormFactor 的 Cascade PM8 手動探針系統(tǒng)旨在為高達 200 mm 的分析探測應用提供高度穩(wěn)定、符合人體工程學和靈活的探測平臺,例如器件和晶圓表征、故障分析 (FA)、RF/mmW/sub-THz探測和 MEMS。創(chuàng)新的精細滑動卡盤平臺提供大范圍粗動和微米級微動,

簡化測量?;◢弾r板可以承受任何熱或機械影響,并確保完整的系統(tǒng)穩(wěn)定性。PM8 的堅固結構非常適合所有高達亞太赫茲范圍的射頻應用,由 WinCal XE 校準軟件支持,包括 LRRM、LRM+、NIST 風格的 TRL 和混合校準方法。

獨特的可移動顯微鏡橋選件可輕松且符合人體工程學地對高達 200 毫米的觀察系統(tǒng)進行粗調和微調,從而使所有 FA 和檢測任務以及晶圓級可靠性 (WLR) 測試變得容易。PM8 可以使用各種附件進行升級,例如用于 FA 應用的激光切割機和遙控手動定位器,以及用于校準基板和拋光墊的特殊設計的卡盤,用于高頻應用。探針卡可以很容易地用于測試,并且可以通過少的設置調整來測試封裝的部件。

性能特點

  • 力學

高穩(wěn)定性花崗巖底座

X 軸和 Y 軸的獨立粗略移動,結合低至亞微米范圍的輕松微調

1 µm 可重復分離行程

高測量精度和可重復性

快速導航和高精度探頭定位

  • 高靈活性

可針對 DC、RF、mmW、FA、WLR 等重新配置

多種附件:熱卡盤、電動顯微鏡和定位器、暗盒等

40 毫米壓板高度可調

升級路徑以滿足您未來的需求

晶圓和封裝測試之間的快速轉換

  • 便于使用

低調、簡單的設計

簡單且符合人體工程學的操作

  • 雙面選項

正面或背面儀器,例如:積分球、光纖設置、壓力模塊

正面或背面探測能力

訪問被測設備 (DUT) 的頂部和底部

高精度光測量

選型指南

可選功能與配件

PS-ACC-HDTV:

兼容 EPS200MMW、EPS200RF、PM8-COAX-PCKG、PM8-COAX-HR-PCKG 和 PM8-FA-PCKG 的 C 接口數(shù)字電視選項

技術參數(shù)

產品應用


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