FORMFACTOR低溫晶圓探測(cè)器HPD 4 K

HPD 4 K 低溫晶圓探針是一種高精度全自動(dòng)探針臺(tái)，適用于 4 K 環(huán)境中的 150 毫米和 200 毫米基板。為了加速商用量子和超導(dǎo)計(jì)算機(jī)的實(shí)現(xiàn)，我們?yōu)樾酒_(kāi)發(fā)人員提供了智能迭代設(shè)計(jì)所需的工具。4 K 低溫晶圓探測(cè)器集成了可配置的 DC 和 RF 電纜，以及可用于測(cè)試配置的更大靈活性的定制探針卡。具有集成磁屏蔽的穩(wěn)健設(shè)計(jì)提供了必要的穩(wěn)定環(huán)境條件，以確保為敏感的超導(dǎo)設(shè)備提供高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。全自動(dòng)晶圓裝載和復(fù)雜的 Velox 軟件套件允許進(jìn)行高吞吐量測(cè)試和無(wú)人值守操作，以快速獲取數(shù)據(jù)。FormFactor 長(zhǎng)期的探測(cè)知識(shí)和數(shù)十年的準(zhǔn)確低溫經(jīng)驗(yàn)在該系統(tǒng)中相結(jié)合，將超導(dǎo)設(shè)備的測(cè)試和測(cè)量從實(shí)驗(yàn)室?guī)刖A廠。

環(huán)境控制

• 晶圓溫度驗(yàn)證 <4.5 K（44 個(gè)射頻探頭接觸）
• 磁場(chǎng)抑制<200 nT
• 高度均勻的晶圓溫度
• 準(zhǔn)確的熱穩(wěn)定性和控制
• 堅(jiān)固的花崗巖底座結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的運(yùn)動(dòng)和振動(dòng)控制

靈活性

• 輕松更換可定制的探針卡
• 可配置為 150 毫米或 200 毫米晶圓
• 多達(dá) 56 個(gè)射頻同軸電纜（高達(dá) 18 GHz）
• 多達(dá) 520 條直流線路

自動(dòng)化

• 全自動(dòng)晶圓裝載或手動(dòng)選項(xiàng)
• 用于手動(dòng)、半自動(dòng)或全自動(dòng)探測(cè)的完整軟件套件

數(shù)據(jù)獲取時(shí)間

• 25 個(gè)晶圓盒容量，用于全自動(dòng)測(cè)試
• 每個(gè)晶圓約 15 分鐘的冷卻時(shí)間
• 用于快速模具到模具運(yùn)動(dòng)的高速運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

用于快速穩(wěn)定時(shí)間的剛性運(yùn)動(dòng)堆棧

量子計(jì)算、超導(dǎo)芯片開(kāi)發(fā)、量子信息科學(xué)