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SIOS量塊檢測站EPP

用于校準平行量塊的量塊測試站 EPP 使用激光干涉測量探頭 LM 20 作為上測量探頭。測量范圍為 20 mm,分辨率為 1 nm。Physikalisch-Technische Bundesanst...

產(chǎn)品介紹

用于校準平行量塊的量塊測試站 EPP 使用激光干涉測量探頭 LM 20 作為上測量探頭。測量范圍為 20 mm,分辨率為 1 nm。Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig 確定了一個該探頭的量塊校準的測量偏差小于 10 nm。根據(jù) PTB 的建議,對于 122 塊量塊組,所需的標準量塊數(shù)量可以減少到 15 個。量塊檢查裝置的線性誤差(未對準、探頭未對準、溫度影響)可以通過校準程序確定和校正。量塊測試站的便捷操作以及測量值的校正、評估和輸出通過帶有“PEKAL”軟件(平行量塊校準)的PC進行。

性能特點

校準一套 122 件套只需大約 15 個標準件

由于重新校準工作量低而節(jié)省成本

通過用戶指導的測量過程和少量標準量塊節(jié)省測量時間

可以校準不尋常的標稱尺寸和材料

整個測量范圍內的高線性度

在整個測量范圍內恒定的測針測量力

使用“PEKAL”評估軟件校正測試對象和常溫

技術參數(shù)


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