ENTEGRIS電子流量計(jì)InVue NT4400

InVue NT4400 電子流量計(jì)設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體行業(yè)的高的純度應(yīng)用，并與高腐蝕性過程兼容。 流通設(shè)計(jì)大限度地減少死體積，降低過程污染的可能性。 該儀器的所有接液部件均采用 PTFE 和其他高的純度含氟聚合物。該儀器采用非金屬壓力傳感技術(shù)，利用差壓提供準(zhǔn)確可靠的流量和壓力測(cè)量。 流量和壓力測(cè)量不受氣泡或滯留蒸汽的影響。 所有產(chǎn)品都經(jīng)過工廠校準(zhǔn)和 100% 驗(yàn)證，無需現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)，安裝簡單。 標(biāo)準(zhǔn)電子輸出可輕松與 PLC、控制系統(tǒng)和電子顯示器集成。

沒有運(yùn)動(dòng)部件產(chǎn)生粒子

用于可靠測(cè)量的非金屬傳感技術(shù)

用于附加過程信息的集成壓力傳感器

流通式設(shè)計(jì)，大限度地減少死體積

關(guān)鍵測(cè)量的 1% 滿量程精度

易于安裝在任何方向