ENTEGRIS濃度監(jiān)測儀InVue CR288

帶有 288-connect軟件包的 InVue CR288 濃度監(jiān)測器可提供使用點化學品/混合混合、加標和稀釋的實時信息，而不會干擾或中斷過程。 基于 PC 的圖形用戶界面和 LCD 顯示屏集成了數(shù)據(jù)收集、分析和現(xiàn)場校準以及方便、可擴展的數(shù)據(jù)界面和采集選項。 光學系統(tǒng)計算實時濃度和溫度補償數(shù)據(jù)，所有這些都是為了提高生產(chǎn)率。CR288 濃度監(jiān)測器采用創(chuàng)新的折射率技術，采用緊湊靈活的配置。該測量基于過程流體中光的折射，從而產(chǎn)生了一種準確和可重復的液體濃度測量方法。在線傳感器準確地測量折射率和過程流體的溫度。該信息通過互連電纜傳輸?shù)竭h程數(shù)字顯示單元 (DDU)。 DDU 使用此信息以及用戶定義的特性來計算過程流體的濃度。 DDU 在液晶顯示屏 (LCD) 屏幕上顯示折射率、溫度和濃度。它還輸出 4 至 20 mA 和 RS-232 信號，可用作過程控制器的輸入。

通過折射率 (IoR)，這款具有成本效益的高性能濃度監(jiān)測器可提高監(jiān)測 BEOL、FEOL 和次晶圓廠化學品混合和輸送系統(tǒng)的工藝效率

該裝置占地面積小，可方便地直接安裝在工藝化學品中