ONTO光刻系統(tǒng)JetStep G35

JetStep G35 系統(tǒng)專(zhuān)為靈動(dòng)性而設(shè)計(jì)，利用一系列高性能投影鏡頭為平板顯示器制造商實(shí)現(xiàn)高分辨率成像。Jetstep G35 系統(tǒng)是一款大批量制造成像系統(tǒng)，適用于高達(dá) 3.5 代的顯示器。JetStep G35 系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)低至 1.5µm 的高分辨率成像，并結(jié)合先進(jìn)的高分辨率顯示器制造所需的配準(zhǔn)和拼接精度。適用于高達(dá)Gen 3.5尺寸的平板顯示器應(yīng)用的高分辨率成像。

• 自動(dòng)放大控制增加了工藝窗口
• 板載標(biāo)線(xiàn)管理系統(tǒng)提供大利用率
• 用于現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)的機(jī)載計(jì)量包
• 在每個(gè)曝光位置進(jìn)行動(dòng)態(tài)自動(dòng)對(duì)焦，以自動(dòng)調(diào)整面板拓?fù)渖系慕裹c(diǎn)
• 提供系統(tǒng)性能和故障排除反饋的板載診斷

• 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 6 英寸光罩格式，用于經(jīng)濟(jì)的制造
• 低至 1.5µm 的高分辨率成像