ONTO缺陷檢測系統(tǒng)Dragonfly G3

獨特的 2D 成像技術(shù)為亞微米缺陷提供快速、可靠的檢測，以滿足當(dāng)今的研發(fā)需求和未來的生產(chǎn)需求。Onto Innovation 的Truebump技術(shù)結(jié)合了多種 3D 計量技術(shù)，可提供準確的凸塊高度計量和共面性。這項新技術(shù)是 Onto Innovation 產(chǎn)品的基礎(chǔ)，旨在提供快速吞吐量、提高明場和暗場靈敏度，并解決與大包裝檢測相關(guān)的現(xiàn)場挑戰(zhàn)。Dragonfly G3 系統(tǒng)提供 用于非視覺殘留物檢測的Clearfind技術(shù)。對于 CMOS 圖像傳感器 (CIS) 等市場，Dragonfly 系統(tǒng)將斜角照明與復(fù)雜的圖像處理和機器學(xué)習(xí)算法相結(jié)合，以檢測有源像素傳感器區(qū)域中的低對比度缺陷。

• 內(nèi)聯(lián)實時對焦
• 允許計量傳感器集成的靈活平臺
• IR 缺陷檢查和審查
• 使用自動對齊和 CAD 導(dǎo)入創(chuàng)建無晶圓配方
• 原生工具匹配和通用配方服務(wù)器的配方共享
• 基于規(guī)則的分箱和分類，用于立即處理芯片

• 大芯片和封裝支持 (>6400 mm²)
• 基板支持：100mm-330mm晶圓
• 高翹曲晶圓和 Taiko 處理選項