LUMENTUM調Q激光器Q301-HD-1000R

Lumentum Q 系列激光器用于各種高精度微加工應用的高功率 Q 開關二極管泵浦紫外和綠光激光器市場。無論是對陶瓷等材料進行高脈沖能量處理、對藍寶石或硅等材料進行高重復率處理，還是對薄膜太陽能電池進行圖案化，Q 系列激光器都能提供高性能和正常運行時間。

• 高的商用脈沖能量和峰值功率
• 由于獨特的腔內諧波產生實現(xiàn)了能量穩(wěn)定性，因此更嚴格的過程控制
• 由于脈沖能量、脈沖寬度和重復頻率的選擇范圍廣，因此能夠處理廣泛的材料
• 由于諧波晶體中的低能量密度和暴露于紫外線的無腔光學涂層，可靠性高
• 提供 355 和 532 nm 輸出
• 可根據(jù)要求定制

Q-PS-1000R：標準電源

Q-PS-A30R：3 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A50R：5 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A70R：7 米柔性臍帶電纜

Q-PS-A100R：10 米柔性臍帶電纜

QA-CH：標準 110 VAC

QA-CH-E：歐洲 220 VAC

QA-CH-A11：一對 3 m 軟管，直/直接頭

QA-CH-A12：一對 5 m 軟管，直/直接頭

QA-CH-A21：一對 3 m 軟管，直角/直型接頭

QA-CH-A22：一對 5 m 軟管，直角/直型接頭

QA-CH-A31：一對 3 m 軟管，直角/直角接頭

QA-CH-A32：一對 5 m 軟管，直角/直角接頭

波長：355 納米

極化：>100:1

空間模式 TEM00

M-平方：<1.2

腰部位置（內部，從光束出口）：42±0.4 cm

腰部直徑 1/e：0.26 mm 標稱

光束圓度：>85% 圓形

光束發(fā)散角，全角：1.8±0.35 mrad

（Q304-HD-1000R：2.0±0.35 mrad）

光束指向漂移，全角：<10 μrad/°C

指向漂移，超過 8 小時，全角度：2 <50 μrad

光束位置精度，單位到單位：從標稱<2.5 mm

光束指向精度，單位到單位：從標稱<1°

控制器重復率

內部觸發(fā)：1 kHz 至 250 kHz

外部觸發(fā)：0 至 250 kHz

8 小時內的功率漂移： <±2%

熱身時間

從冷啟動：<20 分鐘

從待機：<10 分鐘

工作環(huán)境溫度：15 至 35°C

相對濕度，非冷凝：10 至 80%

重量：14.5 公斤

晶圓劃線

全切割晶圓切割

低k介電開槽

硅、藍寶石、陶瓷和金屬的微加工

微孔鉆孔

PCB和柔性板切割