BOC EDWARDS渦輪分子泵STP-iXA4506

Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 采用先進(jìn)的技術(shù)，為當(dāng)今具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供良好的性能、改進(jìn)的氣流能力和高溫管理。 STP-iXA4506 TMP 在 12-16 英寸（300-400 毫米）入口法蘭上實(shí)現(xiàn)了 4300 l/s (N2) 的抽速和高達(dá) 4300 sccm (N2) 的吞吐量，使 STP-iXA4506 TMP 成為 廣泛的大容量、高流量應(yīng)用，包括半導(dǎo)體蝕刻、LCD 蝕刻、玻璃涂層、太陽能 PVD 和涂層 PVD。其緊密集成的設(shè)計包括一個完全密封的電子模塊，可在苛刻的工廠環(huán)境中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健、可靠的運(yùn)行。 而且，與我們所有的磁懸浮 TMP 一樣，無機(jī)械軸承實(shí)際上去除了定期維護(hù)的成本。

• 溫度管理系統(tǒng)（TMS）單元可用于產(chǎn)生副產(chǎn)品的過程。
• 可選的 B* 涂層可適用于使用 TMS 的高通量工藝。
• 完全集成的控制器和電源去除了對電纜和單獨(dú)的控制器機(jī)架的需求，從而形成了具有成本效益的緊湊型 TMP 封裝，安裝速度快、安裝方便、占地面積小。
• 該泵將在冷卻水供應(yīng)高達(dá) 35°C 的情況下運(yùn)行。

• 出口法蘭：KF40
• 允許背壓：266(2)Pa(Torr)
• 最大氣體流量N2：4300
• 最大氣體流量Ar：2600
• 額定轉(zhuǎn)速：24,240rpm
• 啟動時間：≤11分鐘
• 安裝位置：任意方向
• 輸入電壓：200-240V
• 不帶TMS的最大輸入功率：1700VA
• 有TMS的最大輸入功率：2200VA