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集成系統(tǒng)將線性或 XY 平臺與轉(zhuǎn)臺相結(jié)合,提供交鑰匙解決方案。平臺可配備直接驅(qū)動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。
升降-旋轉(zhuǎn)臺為輕型到中等有效載荷提供準確且獨立的旋轉(zhuǎn)和垂直平移。該平臺結(jié)合了 LSZ-12W 垂直平臺和 PSR150-30 轉(zhuǎn)臺,外形非常緊湊,適用于空間受限的應用。
升降 Z 臺LSZ12W
升降行程:12 mm
重復性:± 2µm
分辨率:1 µm
上升有效載荷:10 kg
上升力速度:25 mm/sec
機械:滾珠絲杠/楔形
電機:伺服
旋轉(zhuǎn)臺 PSR150-30
回轉(zhuǎn):無限制
重復性:± 2 arc-sec
分辨率:± 2 arc-sec
扭矩:6 Nm
角速度:180轉(zhuǎn)
機械:直接驅(qū)動
電機:伺服
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