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BDISCOM電源BDS SP 3

BDISCOM是一家制造公司,生產(chǎn)直流低壓和高壓/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及臺(tái)式射頻等離子體反應(yīng)器系列,還提供發(fā)電機(jī)、電源和過(guò)程控制系統(tǒng)。多年來(lái)積累了豐富的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)...
  • 品牌:BDISCOM
  • 型號(hào):BDS SP 3
  • 閱讀次數(shù):743

產(chǎn)品介紹

BDISCOM是一家制造公司,生產(chǎn)直流低壓和高壓/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及臺(tái)式射頻等離子體反應(yīng)器系列,還提供發(fā)電機(jī)、電源和過(guò)程控制系統(tǒng)。多年來(lái)積累了豐富的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn),通過(guò)不斷地研究創(chuàng)新,提高產(chǎn)品質(zhì)量及性能,滿足客戶需求。

BDS SP 3是用于直流濺射工藝的新型電源系列。

性能特點(diǎn)

  • 所有單元均配備用戶友好的主動(dòng)式觸摸屏顯示器
  • 點(diǎn)火電壓高達(dá) 1,1 kV
  • 電弧檢測(cè) DV/DT 關(guān)閉時(shí)間 < 1mSec
  • 冷卻空氣

技術(shù)參數(shù)

  • 電源要求:400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
  • max功率輸出:3、6 和 12kw FS
  • max電壓輸出:1000 Volt FS
  • max電流輸出:6、12 和 25 安培
  • 點(diǎn)火:1,1 KVolt
  • 電弧探測(cè)器:< 200 nSec 檢測(cè),< 1 mSec DV/DT 關(guān)閉時(shí)間
  • 效率:> 90 %
  • 顯示:觸摸面板 240x128 像素
  • 調(diào)節(jié)模式:功率/電壓/電流(可選)
  • 冷卻:空氣(強(qiáng)制)
  • 接口:RS 232 - Profibus - A/D(Profibus 選項(xiàng))
  • 工作溫度:5-40°C
  • 尺寸:19” 機(jī)架 - 4HU

 


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