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ENTEGRIS刷PVP0EF3R1

Planarcore 的PVA 刷設(shè)計用于在 CMP 后晶圓清潔應(yīng)用中提供高性能和晶圓間的一致性。自創(chuàng)的穿芯模塑技術(shù)可使 PVA 與刷芯適配粘合,而不像標(biāo)準 PVA 產(chǎn)品那樣僅通過摩擦安裝到刷芯上。一...

產(chǎn)品介紹

Planarcore 的PVA 刷設(shè)計用于在 CMP 后晶圓清潔應(yīng)用中提供高性能和晶圓間的一致性。自創(chuàng)的穿芯模塑技術(shù)可使 PVA 與刷芯適配粘合,而不像標(biāo)準 PVA 產(chǎn)品那樣僅通過摩擦安裝到刷芯上。一次性 Planarcore PVA 刷的尺寸穩(wěn)定性還消除了與獨立和預(yù)安裝 PVA 產(chǎn)品相關(guān)的不確定性。由于 Entegris 的 Planarcore PVA 刷性能高,PVA 滑動、膨脹和同心度下降不再是問題。

減少工具停機時間:模壓穿芯技術(shù)確保每次都能適配貼合。無需擔(dān)心操作錯誤或不一致。由于刷與刷之間的尺寸穩(wěn)定性和同心度不會發(fā)生變化,因此間隙處理更快、更容易。從頭部晶片到尾部晶片,Planarcore 刷子和間隙都保持不變,確保了工藝的穩(wěn)定性。Planarcore 電刷制造過程中的有效清潔流程縮短了晶圓沖洗和電刷磨合時間。更快的 CMP 工具啟動可提高產(chǎn)量。

減少晶片上的缺陷:更清潔的 PVA、尺寸一致性和流量均衡可減少晶圓上的顆粒數(shù),從而實現(xiàn)業(yè)內(nèi)一致的晶圓性能。

將整個 Planarcore 刷(包括刷芯)浸沒在 1 升 18 MΩ 去離子水中并擠壓,以確保任何可能的污染都能很好地分布。然后用離子色譜法提取殘留的去離子水。

性能特點

高純度 PVA

通過模芯結(jié)構(gòu)成型

消除對齊和間隙問題,提高系統(tǒng)產(chǎn)量

閉模技術(shù)

減少工具停機時間

減少晶片上的缺陷

選型指南

PVP1ARXR1:Planarcore AMAT Reflexion PP 鐵芯,H2O2

PVP1AMMR1:Planarcore AMAT Mirra Mesa PP 內(nèi)核,H2O2

PVP0ARXR1:Planarcore AMAT Reflexion PP 內(nèi)核,NH4OH

PVP0AMMR1:Planarcore AMAT Mirra Mesa PP-核,NH4OH

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

芯材/邊材結(jié)構(gòu)材料:全聚丙烯結(jié)構(gòu)

刷子結(jié)構(gòu)材料:聚乙烯醇(PVA)

防腐劑:0.5 % H2O2 或 NH4OH

產(chǎn)品清潔度:

氟化物:F-,< 0.50 ppm(百萬分之一)

氯化物:Cl-,< 0.75 ppm

硝酸鹽:NO3-,< 0.50 ppm

磷酸鹽:PO43-,<0.50 ppm

硫酸鹽:SO42-,<0.50 ppm

鋰:Li+,< 0.10 ppm

鈉:Na+,< 0.50 ppm

鉀:K+,< 0.80 ppm

鎂:Mg2+,< 0.20 ppm

鈣:Ca2+,<0.50 ppm

外徑尺寸:70 mm ±1.0 mm

同心度尺寸:< 0.76 mm(0.03 英寸)

PVA 典型特性:

30 % 壓縮應(yīng)力:90 g/cm2

孔隙率:87-91 %

吸水率:700-1100 重量百分比

孔徑:70-250 μm(通過 SEM 掃描儀檢測)

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

PVA 刷的應(yīng)用:后 CMP


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