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ENTEGRIS吊艙M200-5010

我們新型的晶圓 SMIF 吊艙可在受控的微型環(huán)境中提供可靠的 200 mm晶圓隔離。滿足當(dāng)今200毫米晶圓廠的自動化、污染控制和生產(chǎn)力要求。憑借50多年的晶圓處理和運輸經(jīng)驗,Entegris繼續(xù)提供保...
  • 品牌:ENTEGRIS
  • 型號:M200-5010
  • 閱讀次數(shù):177

產(chǎn)品介紹

我們新型的晶圓 SMIF 吊艙可在受控的微型環(huán)境中提供可靠的 200 mm晶圓隔離。滿足當(dāng)今200毫米晶圓廠的自動化、污染控制和生產(chǎn)力要求。憑借50多年的晶圓處理和運輸經(jīng)驗,Entegris繼續(xù)提供保障可靠的200毫米晶圓處理解決方案。從具有小型環(huán)境控制的SMIF吊艙,到用于濕法化學(xué)處理的晶圓工藝載體,再到用于自動處理和存儲盒的運輸載體,我們都有滿足您特定晶圓處理要求的解決方案。

性能特點

固定和保護(hù)晶片,防止靜電放電、污染和損壞

兼容清洗

自動處理功能可在制程工具和自動材料處理系統(tǒng)上提供可靠的設(shè)備操作

耐用的聚碳酸酯材料具有良好的尺寸穩(wěn)定性和剛性

低顆粒

專為與我們新型的 200 mm和 150 mm KXTC150 系列晶片運輸載體配合使用而設(shè)計

選型指南

M200 系列適用于大多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)載片架

M205 系列用于寬法蘭載片架

可選功能與配件

BRCL,2x = 條形碼標(biāo)簽,包括兩個

CRDH = TR14 型卡座

LZMRK = 激光標(biāo)記

SNSR, BLCKL, 2x = 傳感器屏蔽標(biāo)簽,包括兩個

TRVH = 電子 ID 旅行者標(biāo)簽夾

自動化:頂部自動化法蘭,用于高架運輸系統(tǒng)

吹掃:惰性氣體吹掃兼容選項

包裝:卡座和旅客標(biāo)簽

搬運:用于自動和個人導(dǎo)引車運輸?shù)膫?cè)軌;用于手動搬運的側(cè)把手

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

DOME 顏色:透明

外殼:標(biāo)準(zhǔn)

手柄顏色:黑色

擋板類型:8 英寸 PC 刀片 (G1)

圓頂接口:頂部 AK 法蘭

門類型:M200 門

磁帶接口:寬導(dǎo)軌

晶圓載體:適用于大多數(shù) 25 和 26 容量的 200 mm晶圓載體

底座尺寸:292.2 × 282.2 mm(11.505 × 11.11 英寸)

吊艙高度(不含頂部把手):268.0 mm(10.6 英寸)

重量(空吊艙):2.26 kg(5.2 磅)

重量(吊艙外殼):1.70 kg(3.8 磅)

重量(吊艙門):0.66 kg(1.5 磅)

符合標(biāo)準(zhǔn):SEMI E19

產(chǎn)品應(yīng)用

M20X 晶圓 SMIF 隔離艙應(yīng)用:與200 mm晶圓傳輸載體配合使用,可在以下期間為半導(dǎo)體提供污染控制:

未污染的晶片運輸、晶片存儲


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