ENTEGRIS吊艙9700-4151-01

A200 SMIF pod 可在運輸和存儲過程中保護 200 mm 晶圓，從而為半導(dǎo)體制造商提供污染控制。優(yōu)良的結(jié)構(gòu)設(shè)計和除氣性能提供了一種環(huán)保平穩(wěn)的晶圓容器，可為晶圓保持良好的微型環(huán)境，并具有固有的自動化兼容性。

結(jié)構(gòu)材料可實現(xiàn)低顆粒生成、低放氣和長使用壽命

兼容清洗

堅固耐用的聚碳酸酯外殼可經(jīng)受反復(fù)和自動處理

聚碳酸酯靜電消散盒門大大降低了 ESD 損壞的可能性

盒體固定裝置與自動清洗系統(tǒng)兼容，降低了擁有成本

外殼顏色：琥珀色、綠色、透明

標(biāo)識：條形碼和字母數(shù)字字符標(biāo)簽；彩色手柄；激光打標(biāo)條形碼和字母數(shù)字字符；卡套和旅行標(biāo)簽

手柄：頂部自動化手柄；攜帶手柄

產(chǎn)地：美國

DOME 顏色：透明

燈罩：四代

手柄顏色和類型：黑色，Ergo 手柄

晶圓固定器類型：Gen IV 晶圓鎖組件 - 被動式

圓頂接口：無

門類型：A200

磁帶接口：寬導(dǎo)軌

磁帶固定器：透明 PC (CS02)

門墊片：PBT 標(biāo)準

底座尺寸：283 x 292 mm（11.125 x 11.5 英寸）

吊艙高度（不含頂部把手）：254 mm（10.0 英寸）

重量（空吊艙）：2.59 kg（5.7 磅）

重量（吊艙外殼）：1.62 kg（3.6 磅）

重量（吊艙門）：0.87 kg（1.9 磅）

外殼材料：聚碳酸酯

門材料：碳填充聚碳酸酯

晶片鎖和框架材料：聚碳酸酯

卡匣固定裝置材料：填充聚四氟乙烯

卡匣導(dǎo)軌材料：聚碳酸酯

符合標(biāo)準：SEMI 19.4

在 200 mm晶圓運輸和儲存過程中為半導(dǎo)體制造商提供污染控制：未污染的晶圓運輸、環(huán)保的晶圓儲存