ENTEGRIS凈化柜RSPX-DPC-048SS-31A

可進(jìn)行單獨(dú)吹掃，減少網(wǎng)罩內(nèi)的微粒和濕氣。光罩凈化柜加入了我們完整的光罩處理和存儲(chǔ)解決方案組合，有助于保持沒有污染的環(huán)境。機(jī)柜設(shè)計(jì)支持所有 150 mm網(wǎng)紋柵 SMIF pod (RSP150)、200 mm網(wǎng)紋柵 SMIF pod (RSP200) 和EUV網(wǎng)紋柵 pod。

機(jī)柜可提供一種或兩種清洗氣體和多達(dá) 84 個(gè)清洗位置，從而可以對(duì)吊艙進(jìn)行單獨(dú)清洗，以減少吊艙內(nèi)的顆粒和水分。每個(gè)機(jī)柜都包括一個(gè) pod 監(jiān)控系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)可追溯性和足夠的清洗時(shí)間。

符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)使工廠人員能夠有保障的裝載

RFID 讀/寫功能實(shí)現(xiàn)了吊艙的可追溯性

集成的用戶界面可提供有關(guān)吊艙位置和清洗時(shí)間的信息

可選擇吹掃巢穴數(shù)量（可達(dá) 84 個(gè)），提供設(shè)計(jì)靈活性和多功能性

設(shè)計(jì)堅(jiān)固，安裝和維護(hù)簡單

龐大的已安裝客戶群證明了產(chǎn)品的可靠性和性能

產(chǎn)地：美國

容量：24、36、48 或 84 個(gè)清洗套

清洗接口：RSP150 SMIF 或 RSP200/EUV 可選

RFID 識(shí)別：讀/寫功能

門：可根據(jù)需要提供

吹掃氣體：1 或 2

接口：RSP150

沖洗廢氣：48

清洗氣體：1

壓力控制器：無

RSP150 SMIF 占地面積（長×寬×高）：1.56 x 0.66 x 1.97 米(5.12 x 2.17 x 6.46 英寸)

RSP200/EUV 占地面積（長×寬×高）：2.20 x 0.50 x 2.07 米（7.22 x 1.64 x 6.79 英寸）；

3.33 x 0.50 x 2.07 米（10.93 x 1.64 x 6.79 英寸）

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