ENTEGRIS氧氣凈化器PS6-MGT15-O

有效去除散裝氣體中的 H₂O、CO、CO₂、H₂ 和 THC 雜質(zhì)催化劑和吸附器 MegaTorr PS6 系列含氧氣體凈化器采用增強型優(yōu)化設(shè)計，體積小巧，性能達(dá)到亞ppb 級。Entegris 憑借在超純度 (UHP) 管道設(shè)計、新型工藝材料分析和集成控制系統(tǒng)方面的多年經(jīng)驗，開發(fā)了這一系列凈化器，以滿足低成本、高可靠性和高性能的需求。采用催化和吸附雙重工藝，為半導(dǎo)體應(yīng)用提供超純度氣體。加熱催化劑容器將 CO、H₂ 和 THC 轉(zhuǎn)化為 CO₂ 和 H₂O，然后兩個吸附器容器交替使用凈化和再生模式去除 CO₂ 和 H₂O，提供連續(xù)凈化。優(yōu)化設(shè)計，以較小的占地面積提供亞ppb 級性能，流量高達(dá) 16,667 slpm（1,000 Nm³/hr）。

采用雙重催化和吸附工藝，專為半導(dǎo)體應(yīng)用提供超純度氣體

碳?xì)浠衔?(CH₄)、一氧化碳 (CO) 和氫氣 (H₂) 在高溫下與氧化催化劑容器中的氧氣 (O₂) 發(fā)生反應(yīng)，生成二氧化碳 (CO₂) 和水 (H₂O)，然后在常溫吸附器容器中去除。

兩個吸附器在凈化和再生模式之間交替進(jìn)行，提供連續(xù)的凈化。

吸附器再生是通過在高溫下反沖凈化后的氧氣來實現(xiàn)的

經(jīng)過優(yōu)化的設(shè)計可在較小的占地面積內(nèi)實現(xiàn)亞ppb 級性能，流量高達(dá) 16,667 slpm（1,000 Nm³/hr）。

PS6-MGT15-O流量：15 Nm³/小時；250 slpm

PS6-MGT30-O流量：30 Nm³/小時；500 slpm

PS6-MGT60-O流量：60 Nm³/小時；1,000 slpm

PS6-MGT100-O流量：100 Nm³/小時；1,667 slpm

PS6-MGT200-O流量：200 Nm³/小時；3,333 slpm

PS6-MGT300-O流量：300 Nm³/小時；5,000 slpm

PS6-MGT400-O流量：400 Nm³/小時；6,667 slpm

PS6-MGT500-O流量：500 Nm³/小時；8,333 slpm

自動微處理器控制器

人機(jī)界面

系統(tǒng)報警

氣-氣熱交換器

電燃?xì)忸A(yù)熱器

閉環(huán)溫度控制

帶門的全金屬機(jī)柜

高溫硬件聯(lián)鎖

過壓釋放系統(tǒng)

可提供其他流量

戶外外殼選項（乳白色）

入口和出口隔離閥

帶 4-20 mA 輸出的質(zhì)量流量計

入口和出口壓力傳感器

儀表空氣管理系統(tǒng)

空氣冷卻熱交換器

自動或手動旁路

0.003 µm 超細(xì)顆粒過濾器

獨立控制電源

MODBUS 數(shù)據(jù)通訊端口

產(chǎn)地：美國

氣體凈化：O₂

雜質(zhì)去除率小于 1 ppb：H₂O、CO、CO₂、H₂、CH₄

PS6-MGT15-O流量：15 Nm³/小時；250 slpm

Max壓降：< 0.7 bar (70 kPa)

高度：193 cm

寬度：89 cm

深度：84 cm

重量：< 600 kg

注意事項：凈化器針對特定氣體，只能用于規(guī)定氣體。

半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、平板顯示器、發(fā)光二極管、太陽能